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10774A ショートレンジ真直度オプティカル
Short range straightness optics combine a straightness interferometer and reflector to make measurements over a range of travel up to 3 m.
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HIGHLIGHTS
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10774Aショートレンジ真直度オプティカルは真直度干渉計とリフレクタを組み合わせたもので、3mまでの距離を測定できます。この光学部品は高精度の光直定規として働き、工作機械や測定機械の座標運動の真直度を、0.04μmの分解能で測定できます。
Keysightは、干渉計を物理的なレイアウトや測定条件に合わせるために、さまざまな測定用光学部品を提供しています。10774Aはその1つで、5529Aダイナミック・キャリブレータで使用できます。
- 真直度測定確度
- 全体の確度 = 光基準確度 + 測定確度
- これは、直定規と表示器を使用して真直度を測る従来の方法に相当します。光基準確度は直定規の確度に、また測定確度は表示器の確度に相当します。
- 光基準確度
- 光基準の不確かさは、直定規（ミラー）反転法によって除去可能
- メートル単位モード: 0.15 M2μm
- 測定確度
- 温度範囲表示値: 0μm～10μm 10～1,500μm
- 0μm～400μm 400～60,000μm
- 15℃～25℃ ±3.5% ±1% ±0.25μm
- 0℃～40℃ ±6% ±1% ±0.5μm
- 真直度測定分解能
- 5519A、5519B、5518A
- ショートレンジ: 0.01μm 0.04μm
- 真直度測定範囲（軸上の移動に対する直角）
±1.5mm - 軸間隔（行程）
- （干渉計からリフレクタまでの距離、代表値、適切な調整、15℃～25℃）
- ショートレンジ光測定: 0.1m～3m
- 高分解能プレーンミラー
- アラインメント・レーザーより空気の乱れに影響されません
- 55283A真直度測定キットの一部として、または単体でオーダ可能
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