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10702A リニア・干渉計
Keysight 10702A リニア干渉計はリニア測定用の基本干渉計で、一般的な1軸測定を実行できます。
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Keysight 10702A リニア干渉計はリニア測定用の基本干渉計で、一般的な1軸測定を実行できます。
10702Aには、基準リフレクターとして1つの10703A リフレクターが付属します。 リニア測定光学セットを完成させるには、2個目の10703Aが必要です。 干渉計は、ビームの屈折に使用することはできません。 干渉計を移動コンポーネントにする場合は、10702A オプション001を注文する必要があります。 10703A リフレクターの詳細
ディファレンシャル動作のためには、10703A リフレクターを取り外して、対象の参照面に装着する必要があります。
プレーンミラー動作のためには、10722A プレーン・ミラー・コンバーターと10703A リフレクターが必要です。 これらの部品を追加することで、10702Aを10706A プレーンミラー干渉計に変えることができます。 これらの部品により、プレーンミラーの軸方向の変位測定が可能になります。 10722A プレーン・ミラー・コンバーターの詳細
1つの10722A プレーン・ミラー・コンバーターと1つの10723A 高安定度アダプターを追加すれば、10702Aを10706B 高安定度プレーンミラー干渉計に変えることもできます。 10723A 高安定度アダプターの詳細
- アプリケーション：汎用
- 特長：低コスト
- 軸数：1
- 最大ビームサイズ：6 mm
- ビーム分離：12.7 mm
- 質量：232 g、オプション001では246 g
- 基本光学分解能：λ/2（316.5 nm、12.5 μin）
- システム分解能：λ/64（10 nm、0.4 μin）、32x電子分解能エクステンションを使用した場合
- システム分解能：λ/512（1.2 nm、0.047 μin）、256x電子分解能エクステンションを使用した場合
- リフレクター：10703A
- 使用するマウント：10711A
- 参照：なし
- 構成の変更：あり。 オプション001が必要
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