產品特性

一般特性

  • 使用線性光學元件時的最大速度:2.1 m/s
  • 參考頻率:>= 7.2 MHz
  • 重量:3.2 kg
  • 暖機時間:45 分鐘(風扇和排氣裝置連接到通風蓋時)

雷射光束

  • 直徑:選項 009 9 mm(5517GL 必須與選項 009 一起訂購)
  • 最低輸出功率:168 µW(3 年後為 120 µW)
  • 最大輸出功率:1 mW
  • 光束高度:80.8 ± 1.0 mm

輸入功率要求

  • 2.2 A 時 +15 V ± 0.3 V(最大值)
  • 0.03 A 時 -15 V ± 0.3 V(最大值)

Keysight 5517GL 主要用於基於 VME 和 PC 的雷射干涉儀系統,這些系統的運動速度較快,例如半導體微影製程和平板顯示器等應用。 如有客製化需求,請聯絡是德科技。

了解雷射干涉儀定位量測系統

主要技術規格

Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
2215**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 168
Reference frequency (MHz)
>= 7.2
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
2215**
> 168
>= 7.2
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
2215**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 168
Reference frequency (MHz):
>= 7.2
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)

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