주요 특징

여러 축 분야에 사용될 경우 키사이트 10721A 2축 차동 간섭계는 동시에 선형 및 각도(yaw) 변위 등 두 개의 차동 측정을 수행합니다. 두 측정 모두 컬럼 또는 검사 도구와 같은 물체에 장착된 외부 미러를 참조합니다. 10721A는 열 팽창과 같은 원치 않는 간섭계 변위에 대한 면역성이 뛰어납니다. 이 제품은 기계적 안정성이 극대화될 수 있도록 모노리식 옵틱이 있는 모듈식 소형 설계입니다. 작은 3 mm 빔을 사용하므로 Abbé 오프셋 오차를 줄이는 데 도움이 됩니다. 10721A는 추가 측정 축을 제공한다는 점을 제외하고 10719A 단일 축 차동 간섭계와 유사합니다.

10721A는 병렬 빔 경로를 생성하는 전단판, 빔 경로를 조작하는 역반사기 두 개, 사분의일 파장판 두 개를 포함합니다.

사용자는 기준 미러와 측정 미러를 모두 제공해야 합니다.

단일 축 차동 측정은 10719A를 참조하십시오.

  • 응용 분야: 2개의 차동 선형 측정 또는 2개의 각도 측정
  • 특별한 특징: 2축 차동
  • 축 수: 2개
  • 최대 빔 크기: 3 mm
  • 빔 분리: 사양 참조
  • 무게: 300 g(10.6온스)
  • 기초 광학 분할: λ/4(158.2 nm, 6.2 µin), 2.56 arcsec(12.4 µrad)
  • 시스템 분해능: λ/128(5 nm, 0.2 µin), 0.08 arcsec(0.39 µrad), 32x 전자 분해능 확장 사용 기준
  • 시스템 분해능: λ/1024(0.62 nm, 0.024 µin), 0.01 arcsec(0.05 µrad), 256x 전자 분해능 확장 사용 기준
  • 반사기: 맞춤형
  • 사용된 마운트: 맞춤형
  • 레퍼런스: 예
  • 튜닝된 구성: 아니요

자세한 내용은 레이저 간섭계 위치 측정 시스템을 참조하십시오.

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 10721A Two Axis Differential Interferometer

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